近日，德國光學組件和傳感器系統(tǒng)供應商Jenoptik斥資千萬歐元，投資了一種新的電子束（E－Beam）光刻系統(tǒng)。據(jù)悉，新的電子束系統(tǒng)將由總部位于德國耶拿的電子束技術專家Vistec Electron Beam GmbH公司研制，將于2022年中期在德國德累斯頓工廠投入使用。該系統(tǒng)是開發(fā)和生產下一代超精密傳感器的核心部件，這對進一步開發(fā)DUV和在半導體生產過程中建立高精度EUV晶片曝光至關重要。

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Jenoptik表示，新的電子束光刻系統(tǒng)能在300mm大小的基底上實現(xiàn)精度約10納米的光刻（約為毛發(fā)直徑的1／ 2000）。Jenoptik把這項技術作為超精密微光學制造的主要使能器，這是其傳感器業(yè)務的功能核心。改進后的電子束光刻系統(tǒng)通過精度和靈活性的提高，為未來半導體曝光技術所需的傳感器奠定了技術基礎。

2020年9月，Jenoptik收購了光學計量公司Trioptics 75％的股份，以期能進一步加強公司在光學和光電子領域的競爭力（尤其是測試和測量技術方面）。收購Trioptics后，Jenoptik預計全年收入將在7.55億到7.75億歐元之間。Jenoptik在光學、傳感器技術和精密機械領域擁有超過150年的專業(yè)經驗，是全球領先的高質量光學和微光學系統(tǒng)開發(fā)和生產合作伙伴之一，并致力于開發(fā)和引進先進的半導體光刻技術。